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60 MHz CCP에서의 전류 고조파성분과 전자 밀도 분포의관계에 대한 실험적 연구
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 4-Feb-2021
- Publisher
- 한국진공학회
- Citation
- 제 60회 한국진공학회 동계정기학술대회
- Conference Name
- 제 60회 한국진공학회 동계정기학술대회
- Place
- 온라인
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)