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나노 세리아 슬러리를 이용한 STI CMP에서 나노토포그라피 시뮬레이션
- Authors
- 백운규
- Issue Date
- 9-Jul-2004
- Publisher
- 한국전기전자재료학회
- Citation
- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회
- Conference Name
- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회
- Place
- 용평리조트
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 에너지공학과 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Paik, Ungyu
- COLLEGE OF ENGINEERING (DEPARTMENT OF ENERGY ENGINEERING)