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STI CMP용 나노 세리아 슬러리의 Non-Prestonian 거동에서 연마입자의 크기와 계면활성제의 농도가 미치는 영향
- Authors
- 백운규
- Issue Date
- 21-Nov-2003
- Place
- 연세대학교
- Conference Name
- 2003년 추계 한국재료학회
- Files in This Item
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 에너지공학과 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Paik, Ungyu
- COLLEGE OF ENGINEERING (DEPARTMENT OF ENERGY ENGINEERING)