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Si(100)기판의 표면 구조변화에 따른 화학적 산화막을 이용한 CoSi2의 성장에 관한 연구
- Authors
- 전형탁
- Issue Date
- 1-May-1999
- Place
- 금오공대
- Conference Name
- 한국 재료학회 춘계 학술대회
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 신소재공학부 > 2. Conference Papers
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