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AlGaN/GaN-on-Si 이종접합 기반의 고감도 수소센서High Sensitivity Hydrogen Sensor Based on AlGaN/GaN-on-Si Heterostructure
- Other Titles
- High Sensitivity Hydrogen Sensor Based on AlGaN/GaN-on-Si Heterostructure
- Authors
- 차호영
- Issue Date
- 31-Mar-2019
- Publisher
- KEPCO
- Citation
- KEPCO Journal on Electric Power and Energy, v.5, no.1, pp.39 - 43
- Journal Title
- KEPCO Journal on Electric Power and Energy
- Volume
- 5
- Number
- 1
- Start Page
- 39
- End Page
- 43
- ISSN
- 2465-8111
- Abstract
- 에너지 고갈 문제에 대한 대처 방안으로 수소에너지는 직간접적인 긍정적 효과를 가져온 반면, 사용시 안정성이 매우 중요한 사항이기 때문에 수소가스에 대한 정확하고 빠른 감지를 가능하게 하는 센서 기술이 요구된다. 본 연구에서는 AlGaN/GaN 이종접합 반도체 플렛폼을 활용하여 Pd 촉매 기반의 수소센서를 개발하였으며 감도를 높이기 위하여 식각 구조를 도입하였다. 온도 및 바이어스 전압이 센서의 반응도에 미치는 영향을 수소가스 위험도 최하한선 농도인 4% 수소 농도 에 노출된 경우에 대하여 세심하게 분석하였다. AlGaN/GaN 이종접합의 우수한 특성에 식각 구조가 도입된 결과 56%의 높은 반응도와 0.75 초의 빠른 응답 속도 성능을 달성하였다.
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Related Researcher
- Cha, Ho Young
- Engineering (Electronic & Electrical Engineering)