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SnO2 나노입자를 활용한 GaN 기반 수소 센서의 반응도 개선 연구Improved Response Characteristics of GaN-Based Hydrogen Sensor with SnO2 Nanoparticles
- Other Titles
- Improved Response Characteristics of GaN-Based Hydrogen Sensor with SnO2 Nanoparticles
- Issue Date
- 2022
- Publisher
- 한국전자파학회
- Keywords
- AlGaN/GaN Heterojunction; Hydrogen; Ultra Violet; SnO2 Nanoparticle; Response; -
- Citation
- 한국전자파학회 논문지, v.33, no.2, pp.92 - 97
- Journal Title
- 한국전자파학회 논문지
- Volume
- 33
- Number
- 2
- Start Page
- 92
- End Page
- 97
- ISSN
- 1226-3133
- Abstract
- 본 연구에서는 AlGaN/GaN 이종접합 기반의 수소센서를 제작하였으며, SnO2 나노입자를 Pd 촉매층 상부에 도포하여상온에서의 감지 특성을 개선하였다. SnO2 나노입자는 간단한 스핀코팅 방식으로 촉매층 상부에 추가되었으며, 열처리공정을 통하여 흡착시켰다. 비교군으로 Pd 촉매층만을 사용한 경우에도 상온에서의 수소 반응성을 보였으나, 반응시간및 회복 시간이 오래 걸리는 단점이 있지만, SnO2 나노입자를 추가할 경우 증가된 반응 표면적 효과와 더불어 SnO2에서의 산화 및 환원 반응 기작으로 매우 빠른 반응 및 회복 특성을 나타냈다. 특히, 자외선을 조사한 경우에 SnO2 나노입자가 포함된 센서의 경우 반응도의 추가적인 개선 효과까지 보였다.
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Related Researcher
- Cha, Ho Young
- Engineering (Electronic & Electrical Engineering)