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리세스 식각 구조를 이용한 β-Ga2O3 에피탁시 공정 설계
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 차호영 | - |
| dc.date.available | 2020-07-10T04:24:11Z | - |
| dc.date.created | 2020-07-08 | - |
| dc.date.issued | 2018-06-20 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hongik/handle/2020.sw.hongik/3544 | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 대한전기전자공학회 | - |
| dc.title | 리세스 식각 구조를 이용한 β-Ga2O3 에피탁시 공정 설계 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 차호영 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 2018 한국군사과학기술학회 창립 20주년 종합학술대회, v.0, no.0, pp.0 - 0 | - |
| dc.relation.isPartOf | 2018 한국군사과학기술학회 창립 20주년 종합학술대회 | - |
| dc.citation.title | 2018 한국군사과학기술학회 창립 20주년 종합학술대회 | - |
| dc.citation.volume | 0 | - |
| dc.citation.number | 0 | - |
| dc.citation.startPage | 0 | - |
| dc.citation.endPage | 0 | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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