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PECVD SiON 절연막을 이용한 4H-SiC MOS 소자 특성 연구

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dc.contributor.author김현섭-
dc.contributor.author이재길-
dc.contributor.author임종태-
dc.contributor.author차호영-
dc.date.available2020-07-10T04:40:30Z-
dc.date.created2020-07-06-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.issn1226-7244-
dc.identifier.urihttps://scholarworks.bwise.kr/hongik/handle/2020.sw.hongik/4743-
dc.description.abstract본 논문에서는 플라즈마 화학기상증착 (plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD) 방식을 이용한 산질화규소 (Silicon oxynitride, SiON) 절연체를 이용하여 4H-SiC metal-oxide-semiconductor (MOS) 소자를 제작하고 특성 분석을 수행하였다. 제작된 소자는 금속 증착 후 열처리 과정 (post metallization annealing, PMA)을 통하여 트랩 밀도가 크게 감소하는 것을 확인하였으며, 특히 500°C의 forming gas 분위기에서 열처리 된 소자의 경우 매우 뛰어난 MOS 특성을 나타내었다. 본 연구를 통하여 4H-SiC MOS 구조를 위한 대체 게이트 절연체로써 PECVD SiON의 활용 가능성을 확인 할 수 있었다-
dc.language한국어-
dc.language.isoko-
dc.publisher한국전기전자학회-
dc.titlePECVD SiON 절연막을 이용한 4H-SiC MOS 소자 특성 연구-
dc.title.alternativeStudy on Characteristics of 4H-SiC MOS Device with PECVD SiON Insulator-
dc.typeArticle-
dc.contributor.affiliatedAuthor차호영-
dc.identifier.bibliographicCitation전기전자학회논문지, v.22, no.3, pp.706 - 711-
dc.relation.isPartOf전기전자학회논문지-
dc.citation.title전기전자학회논문지-
dc.citation.volume22-
dc.citation.number3-
dc.citation.startPage706-
dc.citation.endPage711-
dc.type.rimsART-
dc.identifier.kciidART002390260-
dc.description.journalClass2-
dc.description.journalRegisteredClasskci-
dc.subject.keywordAuthor4H-SiC-
dc.subject.keywordAuthorpost metallization annealing-
dc.subject.keywordAuthorMOS-
dc.subject.keywordAuthoreffective border trap-
dc.subject.keywordAuthorsilicon oxynitride-
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