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UV NIL공정에서 액적의 양과 도포방법에 따른 기포형성 연구A Study on the Formation of Air Bubble by the Droplet Volume and Dispensing Method in UV NIL
- Other Titles
- A Study on the Formation of Air Bubble by the Droplet Volume and Dispensing Method in UV NIL
- Issue Date
- 2013
- Publisher
- 한국산학기술학회
- Keywords
- Air bubble formation; Dispensing method; Droplet volume; Non-vacuum environment; UV NIL
- Citation
- 한국산학기술학회논문지, v.14, no.9, pp.4178 - 4184
- Journal Title
- 한국산학기술학회논문지
- Volume
- 14
- Number
- 9
- Start Page
- 4178
- End Page
- 4184
- ISSN
- 1975-4701
- Abstract
- 최근 나노임프린트 리소그래피 공정이 마이크로/나노 스케일의 소자 개발에 있어서 경제적으로 대량 생산할 수 있는 기술로 주목 받고 있다. 최근 나노임프린트 기술은 공정의 고속화 및 대면적화를 통한 대량생산 기술로의 전환을 목표로 하고 있다. 자외선경화 방식의 나노임프린트의 경우 상온 및 저압의 장점과 함께 비진공 환경에서 공정이 가능하다면 진공챔버 및 고압 스테이지 등과 같은 고가의 장비가 필요 없게 됨으로써 설비비용을 낮추고 공정시간을 단축하는데 큰 기여를 할 수 있다. 그러나 비진공 환경에서는 기포결함이 종종 발생하게 된다. 본 연구에서는 비진공 환경에서의 자외선경화 방식의 나노임프린트 공정 중 레지스트의 액적도포 방법에 따른 기포형성을 연구하였다. 액적의 양과 액적의 수를 달리하여 도포한 레지스트에 대하여 충전 후 기포결함 발생을 분석하였다.
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- Appears in
Collections - College of Engineering > Department of Mechanical Engineering > 1. Journal Articles
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Related Researcher
- Kim, KUG WEON
- College of Engineering (Department of Mechanical Engineering)