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베이스 동특성을 고려한 XY 선형 모션 스테이지 시스템 반발력 보상 기구의 동특성 해석

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DC Field Value Language
dc.contributor.author안형준-
dc.date.available2018-06-12T09:09:45Z-
dc.date.created2018-06-11-
dc.date.issued2011-05-
dc.identifier.urihttp://scholarworks.bwise.kr/ssu/handle/2018.sw.ssu/27028-
dc.publisher대한기계학회-
dc.relation.isPartOf2011 대한기계학회 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집-
dc.title베이스 동특성을 고려한 XY 선형 모션 스테이지 시스템 반발력 보상 기구의 동특성 해석-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.identifier.bibliographicCitation2011 대한기계학회 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집-
dc.description.journalClass2-
dc.citation.conferenceDate2011-05-
dc.citation.conferencePlaceKO-
dc.citation.conferencePlace부산-
dc.citation.title2011 대한기계학회 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집-
dc.contributor.affiliatedAuthor안형준-
dc.type.docTypeArticle; Proceedings Paper-
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College of Engineering > Department of Mechanical Engineering > 2. Conference Papers

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College of Engineering (School of Mechanical Engineering)
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