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유도 결합 플라즈마를 이용한 TaN 박막의 건식 식각 특성
진려; 주영희; 우종창; 김한수; 최경록;
김창일
Article
Issue Date
2013
Citation
전기전자재료학회논문지, v.26, no.1, pp 1 - 5
Publisher
한국전기전자재료학회
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