Spin-coating을 이용하여 Flexible Film에 제작된 ZnO TCO의 특성 분석

Abstract

ZnO는 1980년대 후반부터 이미 투명전극, 가스센서, display 소자 등 여러 분야에 널리 이용되어왔으며 최근에는 발광소자(LEDs), 압전소자, 태양전지, 레이저 소자(LDs) 등의 광학소자 분야 등에 응용되고 있다. ZnO는 II-IV족 화합물 반도체로써 상온에서 3.3 eV의 wide band gap을 갖는 반도체로써 결정구조는 wurzite와 비슷한 육방정계(hexagonal)이며 ZnO가 전기전도성을 가지는 것은 ZnO가 ZnO 결정을 형성하는 과정에서 산소의 Frenkel 격자결함이 형성되어 doner형의 불순물준위를 형성하기 때문이다. 그래서 ZnO는 상온에서 낮은 비저항 값을 갖게 된다. 본 논문에서는 유연 투명전극 소재로 응용하기 위한 ZnO TCO의 특성에 대해 고찰하고자 한다.