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SCOPUS
Experimental and modeling study of submicron particle removal from deep trenches
Bakhtari, K.; Guldiken, R.O.; Busnaina, A.A.;
Park, J.G.
Article
Issue Date
2005
Citation
2005 Proceedings - 10th International Chemical-Mechanical Planarization for ULSI Multilevel Interconnection Conference, CMP-MIC 2005, pp.244 - 247
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