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원자층 증착법을 이용하여 Rutile 구조의 TiO2 박막 증착을 위한 Sn 도핑과 SnO2 시드 층 도입 평가
- Authors
- 안지훈
- Issue Date
- 10-Nov-2022
- Conference Name
- 2022년도 한국표면공학회 추계학술대회
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- ERICA 첨단융합대학 (ERICA 신소재·반도체공학전공)