실리콘 표면에 증착된 다공성 알루미나의 수분 흡착 거동Moisture Gettering by Porous Alumina Films on Textured Silicon Wafer
- Other Titles
- Moisture Gettering by Porous Alumina Films on Textured Silicon Wafer
- Authors
- Lim, Hyo ryoung; Eom, Nu si a; Cho, Jeong ho; Choa, Yong Ho
- Issue Date
- Jun-2015
- Publisher
- 한국화학공학회
- Keywords
- Getter; Moisture Adsorption; Solution Process; Anodizing; Anodic Aluminum Oxide
- Citation
- Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK), v.53, no.3, pp.401 - 406
- Indexed
- SCOPUS
KCI
- Journal Title
- Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK)
- Volume
- 53
- Number
- 3
- Start Page
- 401
- End Page
- 406
- URI
- https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/20558
- DOI
- 10.9713/kcer.2015.53.3.401
- ISSN
- 0304-128X
- Abstract
- 게터는 반도체와 초소형 전자패키지 소자 내부의 수소와 수증기 같은 기체를 흡착하여 기기 작동 시 방해 기체를 제거하는 기능을 한다. 본 연구에서는 재료와 공정 측면에서 높은 가격 경쟁력을 갖는 게터로, 실리콘 기판에 올라간 다공성 알루미나 구조체를 제조하는 연구를 진행하였다. 기공의 크기가 조절된 양극산화 알루미나(AAO)는 높은 비표면적을 가지며 표면에 OH-기를 다수 포함하므로 높은 효율을 갖는 수분 흡착제로 사용되었다. 등온 수분 흡탈착 곡선으로 분석한 수분 흡착도는 상대습도 35%일 때 2.02%로 우수한 성능을 나타내었다. 즉, 저온에서 사용가능하며, 추가 열원이 필요하지 않아 박막구조의 소형화가 용이하여 내부 손상 및 오염을 방지할 수 있는 게터재를 합성하였다.
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