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2. Conference Papers(COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY > DEPARTMENT OF APPLIED PHYSICS > 2. Conference Papers)833

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Haze detection and haze induced process latitude variation

오혜근

ConferenceIssue Date2006CitationBACUS, SPIE Photomask TechnologyPublisherSPIEPlaceMonterey, USA

Atomic Process in Dense Plasma

ConferenceIssue Date2006Place대구 가톨릭 대학교

Theoretical prediction of optical performance of Ru and Si capped reflectors for EUVL

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation50th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication, EIPBPublisherAVSPlace미국 볼티모어

FEM analysis for the ArF contact hole process using a thermal flow model

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation0th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication, EIPBNPublisherAVSPlaceBalitmore, MA 미국

Process latitude shrink due to mask trasmittance loss by haze formation

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation50th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication, EIPBPublisherAVSPlace미국 볼티모어

한글 문장 인식의 인식률 향상을 위한 연구

ConferenceIssue Date2006

Boussinesp 근사를 이용한 Spin Coating 시뮬레이터 연구

ConferenceIssue Date2006

Building three-qubit GHZ-like thermal state using entanglement swapping

ConferenceIssue Date2006

3자간 양자 원격전송방법에 기초한 three-qubit entangled state 분류

ConferenceIssue Date2006

1/f noise 알고리즘을 바탕으로 한 다양한 쟝르의 음악 분석

ConferenceIssue Date2006

Simulation of mask induced polarization effect on imaging in immersion lithography

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회Publisher한국물리학회Place휘닉스파크

The influence of haze in alternating phase shift mask

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회Publisher한국물리학회Place휘닉스파크

EUV mask에서 defect 이 미치는 영향

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회Publisher한국물리학회Place휘닉스파크

50 nm 이하의 pattern 에서의 pattern collapse 연구

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회Publisher한국물리학회Place휘닉스파크

The effect of haze in attenuated phase shift mask process

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회Publisher한국물리학회Place휘닉스파크

ArF contact hole 의 top view 에서의 pitch dependency 에 관한 연구

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회Publisher한국물리학회Place휘닉스파크

EUV-2D photoresist 를 이용한 패턴 구현 및 특성 연구

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회Publisher한국물리학회Place휘닉스파크

75 nm 급 소자를 위한 single trench 구조의 alternating 위상변이 마스크 최적화

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회Publisher한국물리학회Place휘닉스파크

Binary mask 에 생성된 haze 에 의한 CD 변화와 위상 변화 연구

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회Publisher한국물리학회Place휘닉스파크

Optimization of dual trench methods in alternating phase shift mask

오혜근

ConferenceIssue Date2006Citation2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회Publisher함국물리학회Place휘닉스파크

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