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차세대 반도체 공정을 위한 실시간 수율관리시스템 아키텍처 구축에 대한 연구Development of Real-Time Fault Monitoring and Detection System for Next Generation Fa
- Other Titles
- Development of Real-Time Fault Monitoring and Detection System for Next Generation Fa
- Issue Date
- Nov-2010
- Publisher
- 한국산학기술학회
- Citation
- 2010년 한국산학기술학회 추계 학술발표논문집, pp 555 - 558
- Indexed
- OTHER
- Journal Title
- 2010년 한국산학기술학회 추계 학술발표논문집
- Start Page
- 555
- End Page
- 558
- Abstract
- 차세대 반도체 산업은 제조공정의 미세화, 복잡화, 다단계화 등이 심화되고 이로 인해 제조원가의 절감을 위한 단위 Wafer당 보다 많은 칩을 생산할 수 있는 450mm 웨이퍼의 도입을 반드시 필요로 한다. 본 논문에서는 클러스터 툴을 주로 사용하는 450mm 웨이퍼 수율관리 개선 시스템의 구현방향과 상세 기능과 각 모듈에 대한 연구를 수행하였으며, 450mm 웨이퍼 생산체제 하에서 필요한 수율관리 시스템인 RTFMD 시스템을 제안 하였다.
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