차세대 반도체 공정에서의 클러스터 툴 페트리넷 모형개발 분석

Abstract

차세대 반도체 공정의 가장 큰 특징은 반도체 생산의 모든 공정에 대한 완전자동화이다. 이러한 완전 자동화는 작업자의 공정개입을 불가능하게 하고 개별 웨이퍼의 중요도를 증가시켜 다수의 공정이 집약된 클러스터 툴의 공정상에서의 중요도를 크게 증가시켰다. 클러스터 툴은 다양한 형태의 챔버들로 구성되며 챔버 구성방법에 따라 공정능력이 달라진다. 본 연구에서는 클러스터 툴의 각 구성요소들을 모듈화하여 페트리넷으로 모델링함으로써 클러스트 툴의 다양한 챔버 구성방법에 따라 장비성능을 분석할 수 있는 페트리넷 모형을 제안한다. 모듈화된 클러스터 툴의 페트리넷 모형은 차세대 반도체 공정을 구성하는 중요한 공정장비인 클러스트 툴의 챔버 구성을 결정하고 반도체 공정의 장비구성을 결정하는데 도움을 줄 수 있다.