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고진공에서 이온 카운터를 사용한 실시간 입자모니터링 시스템의 개발
- Issue Date
- May-2006
- Publisher
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- Citation
- 한국반도체 및 디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회 논문집, pp.255 - 258
- Indexed
- OTHER
- Journal Title
- 한국반도체 및 디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회 논문집
- Start Page
- 255
- End Page
- 258
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