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산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈락이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 19-Nov-2019
- Publisher
- 한국반도체디스플레이기술학회
- Citation
- 2019년 추계학술대회
- Conference Name
- 2019년 추계학술대회
- Place
- 한양대학교 종합기술원
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)