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서울 공과대학
서울 전기공학전공
2. Conference Papers
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Ar/CF4 유도 결합 플라즈마에서 이중 DC 그리드를 이용한 전자 빔 에너지 제어 연구
정진욱
Conference
Issue Date
2023
Citation
제64회 한국진공학회
Publisher
한국진공학회
Place
웰리힐리파크(강원도 횡성)
평판형 헬리컬 공진기를 사용한 고밀도 플라즈마 소스 연구
정진욱
Conference
Issue Date
2023
Citation
제64회 한국진공학회
Publisher
한국진공학회
Place
웰리힐리파크(강원도 횡성)
Retarding field energy analyzer (RFEA) 를 이용한 유도 결합 플라즈마(ICP)에서 이온 에너지 분포 측정
정진욱
Conference
Issue Date
2023
Citation
제64회 한국진공학회
Publisher
한국진공학회
Place
웰리힐리파크(강원도 횡성)
유도 결합 플라즈마에서 바이어스 전력에 따른 웨이퍼 위치에서의 전자 온도 및 이온 밀도 측정
정진욱
Conference
Issue Date
2023
Citation
제64회 한국진공학회
Publisher
한국진공학회
Place
웰리힐리파크(강원도 횡성)
Ar/SiH4 유도 결합 플라즈마에서의 전자에너지확률분포 특성 연구
정진욱
Conference
Issue Date
2023
Citation
제64회 한국진공학회
Publisher
한국진공학회
Place
웰리힐리파크(강원도 횡성)
Ar/He Plasma 에서 가스 조성비에 따른 봄 속도 및 이온 밀도 변화에 대한 연구
정진욱
Conference
Issue Date
2023
Citation
제64회 한국진공학회
Publisher
한국진공학회
Place
웰리힐리파크(강원도 횡성)
유도 결합 플라즈마에서 극저온 기판 온도와 플라즈마 상호 의존성 연구
정진욱
Conference
Issue Date
2023
Citation
제64회 한국진공학회
Publisher
한국진공학회
Place
웰리힐리파크(강원도 횡성)
유도 결합 플라즈마에서 안테나의 권선수에 따른 병렬 공진 효과 연구
정진욱
Conference
Issue Date
2023
Citation
제64회 한국진공학회
Publisher
한국진공학회
Place
웰리힐리파크(강원도 횡성)
극저온 전자 온도 플라즈마의 발생 및 응용 연구(발표)
정진욱
Conference
Issue Date
2023
Citation
제64회 한국진공학회
Publisher
한국진공학회
Place
웰리힐리파크(강원도 횡성)
Pulsed plasma measurement using the floating harmonic method with high-time resolution
정진욱
Conference
Issue Date
2023
Citation
제64회 한국진공학회
Publisher
한국진공학회
Place
웰리힐리파크(강원도 횡성)
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Date Issued
2023
11
Type
Conference
11
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