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서울 공과대학
서울 전기공학전공
2. Conference Papers
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다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
정진욱
Conference
Issue Date
2011
Citation
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
Publisher
한국진공학회(The Korean Vacuum Society)
Place
한국, 강원도 평창
반도체 플라즈마 이온 주입공정에서 직류 펄스 전압, 전류 감지를 통한 실시간 도즈 모니터링 시스템 개발
정진욱
Conference
Issue Date
2011
Citation
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
Publisher
한국진공학회(The Korean Vacuum Society)
Place
한국, 강원도 평창
비대칭 전극 구조를 갖는 용량성 결합 플라즈마에서의 방전 특성과 전력 소비 모드 전이에 관한 연구
정진욱
Conference
Issue Date
2011
Citation
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
Publisher
한국진공학회(The Korean Vacuum Society)
Place
한국, 강원도 평창
공정 플라즈마 진단을 위한 고조화파 분석법 및 진단 결과
정진욱
Conference
Issue Date
2011
Citation
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
Publisher
한국진공학회(The Korean Vacuum Society)
Place
한국, 강원도 평창
유도 결합 플라즈마에서 밸런스 파워에 의한 전자밀도의 증가효과
정진욱
Conference
Issue Date
2011
Citation
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
Publisher
한국진공학회(The Korean Vacuum Society)
Place
한국, 강원도 평창
플라즈마로부터의 이온포격에 의한 표면물질의 유전체 특성 변화 관찰
정진욱
Conference
Issue Date
2011
Citation
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
Publisher
한국진공학회(The Korean Vacuum Society)
Place
한국, 강원도 평창
축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구
정진욱
Conference
Issue Date
2011
Citation
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
Publisher
한국진공학회(The Korean Vacuum Society)
Place
한국, 강원도 평창
The influence of radiation trapping on the metastable population density and applications to low-pressure plasma
정진욱
Conference
Issue Date
2011
Citation
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
Publisher
한국진공학회(The Korean Vacuum Society)
Place
한국, 강원도 평창
표면 분석법을 이용한 플라즈마에서의 보론박막 두께 측정
정진욱
Conference
Issue Date
2011
Citation
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
Publisher
한국진공학회(The Korean Vacuum Society)
Place
한국, 강원도 평창
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2011
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