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병렬 평판형 헬리컬 공진기를 통한 플라즈마 균일도 개선
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 10-May-2023
- Publisher
- 한국반도체디스플레이기술학회
- Citation
- 2023년 반도체디스플레이 춘계학술대회
- Conference Name
- 2023년 반도체디스플레이 춘계학술대회
- Place
- 제주대학교 아라컨벤션홀 대회의실(제주)
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)