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충돌주파수가 고주파 수평행평판플라즈마의 전기장 균일도에 미치는 영향 연구
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 19-Aug-2011
- Publisher
- 한국진공학회
- Citation
- 한국진공학회 하계 정기 학술대회
- Conference Name
- 한국진공학회 하계 정기 학술대회
- Place
- 대구 exco
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)