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유도 결합 플라즈마에서전자 빔의 생성 및 제어에 관한 연구
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 20-May-2021
- Publisher
- 한국반도체디스플레이기술학회
- Citation
- 2021년 춘계학술대회
- Conference Name
- 2021년 춘계학술대회
- Place
- 제주도 호텔난타
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)