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E-beam Lithography를 이용한 3차원 Air-bridge 구조의 제작기법Fabircation Method of 3-Dimensional Air-bridge Structure using E-beam Lithography
- Other Titles
- Fabircation Method of 3-Dimensional Air-bridge Structure using E-beam Lithography
- Issue Date
- Dec-2008
- Publisher
- 한양대학교 이학기술연구소
- Citation
- 이학기술연구지, v.12, pp.9 - 13
- Indexed
- OTHER
- Journal Title
- 이학기술연구지
- Volume
- 12
- Start Page
- 9
- End Page
- 13
- ISSN
- 2005-9051
- Abstract
- 본 실험에서는 E-Beam lithography 기술을 이용해서 3차원 구조물인 air-bridge를 제작해 보았다. wafer에 서로 다른 민감도를 지닌 PMMA를 다층구조로 쌓아올린 후 다양한 dose 값의 노광을 통해 bridge 형태의 구조를 제작하였다. 또한 설계된 디자인으로 patterning후에 한번의 Au, Cr 증착을 통해 bridge를 완성하였다. 본 연구에서 사용된 제작 방법을 통해 기존의 방법보다 빠른 진행과정으로 보다 신뢰성 있는 air-bridge를 완성하였으며 다양한 형태의 복잡한 구조물에 응용 가능함을 알게 되었다.
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Related Researcher
- Jeong, Hee jun
- COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY (DEPARTMENT OF APPLIED PHYSICS)