Detailed Information
Cited 0 time in 
Cited 0 time in 
Cited 0 time in
Metadata Downloads
AlN 체적탄성파 소자의 주파수 응답특성에 대한 전극재료의 영향Effect of electrode material under frequency response characteristics of AIN based FBAR devices
- Other Titles
- Effect of electrode material under frequency response characteristics of AIN based FBAR devices
- Issue Date
- Jul-2005
- Publisher
- 대한전기학회
- Citation
- 2005년도 대한전기학회 하계학술대회 논문집, pp.1865 - 1869
- Indexed
- OTHER
- Journal Title
- 2005년도 대한전기학회 하계학술대회 논문집
- Start Page
- 1865
- End Page
- 1869
- Abstract
- Air-gap형 구조의 체적탄성파 소자 제작시 중간지지층을 별도로 요구하지 않는 새로운 공정방법을 제안하였고, 상부 및 하부전극의 다양한 금속재료에 따른 주파수 응답 특성의 변화를 비교, 분석함.
- Files in This Item
- Go to Link
Items in ScholarWorks are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Related Researcher
- PARK, JIN SEOK
- ERICA 공학대학 (SCHOOL OF ELECTRICAL ENGINEERING)