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극초단파 처리를 통해 제작된 다공성 유전층 제작과 이를 이용한 정전용량식 고민감도 압력센서의 특성 평가
- Authors
- 오제훈
- Issue Date
- 16-May-2019
- Place
- 제주 라마다호텔
- Conference Name
- 2019년도 한국정밀공학회 춘계학술대회
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- ERICA 공학대학 (DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING)