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PC 기판상에 스퍼터링된 투명전도 산화막의 레이저 식각 특성Laser Direct Etching on Transparent Conductive Oxide Films Sputtered on Polycarbonate Substrates
- Other Titles
- Laser Direct Etching on Transparent Conductive Oxide Films Sputtered on Polycarbonate Substrates
- Issue Date
- 2014
- Publisher
- 한국전기전자재료학회
- Keywords
- TCO (transparent conductive oxide); Laser direct etching; PC (polycarbonate); Nd:YVO4; Binding energy
- Citation
- 전기전자재료학회논문지, v.27, no.3, pp.146 - 150
- Journal Title
- 전기전자재료학회논문지
- Volume
- 27
- Number
- 3
- Start Page
- 146
- End Page
- 150
- ISSN
- 1226-7945
- Abstract
- 플렉서블 기판상에 증착된 투명전도막(TCO)의 간략화된 패터닝의 한 방법으로, 레이저 직접 식각 방법이 폴리카보네이트(PC)기판상에 증착된 TCO 박막들에 대해 적용되었다. 다양한 Nd:YVO4 레이저 빔 조건에 대하여, TCO 박막의 종류에 따른 식각 특성의 차이는 박막 내 결합에너지의 차이로 인하여 야기된다 가정할 수 있었다.
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