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2. Conference Papers(서울 공과대학 > 서울 신소재공학부 > 2. Conference Papers)4,848

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Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of HfO2 Gate Dielectric

전형탁

ConferenceIssue Date2003Place그랜드힐튼 서울호텔 컨벤션센터
Surfactant and Abrasive Morphology Effect on STI-CMP Slurry

전형탁

ConferenceIssue Date2003Place그랜드힐튼 서울호텔 컨벤션센터
The characterization of HfO2/SixNy stack capacitor deposited by ECR plasma MOCVD

안진호

ConferenceIssue Date2003Place서울
A Study on the Incorporation of Ru Interfacial Layer into Mo/Si EUV Reflective Multilayer Properties

안진호

ConferenceIssue Date2003Place서울
Characteristics of HFO2/AL2O3 film for gate dielectric applications deposited by atomic layer deposition method

전형탁

ConferenceIssue Date2003PlaceHynyang University. Seoul. Korea
Investigation of the Si adsorption on Mo(110): ab initio approach

정용재

ConferenceIssue Date2003PlaceHanyang University
Magnetic Properties of themally annealed exchange-biesed Ir-Mn/Co-Fe electrode in magnetic tunnel junctions

윤종승

ConferenceIssue Date2003PlaceBoston
상용 7xxx Al 합금계 혼합분말의 소결 특성

김영도

ConferenceIssue Date2003Place성균관대학교
기계화학적 공정에서 환원온도에 따른 W-Cu 나노복합분말의 특성

김영도

ConferenceIssue Date2003Place성균관대학교
SPIE Microlithography 2003 Review Emerging Lithography

안진호

ConferenceIssue Date2003Place강원도주천강자연휴양림
수열합성법을 이용한 PNN-PZT계 압전 세라믹스의 합성

신동욱

ConferenceIssue Date2003Place경기대학교
Co-dopant 첨가를 통한 고효율 집적형 광증폭기용 광도파막 제작

신동욱

ConferenceIssue Date2003Place경기대학교
Properties of α-TCP System Bone Cement with Particle Size Distribution

정용재

ConferenceIssue Date2003Place경기대학교
사이클론 분리기내 세라믹 입자 거동에 관한 전산모사

정용재

ConferenceIssue Date2003Place경기대학교
Barrier Characteristics of TaN films deposited by remote plasma enhanced atomic layer deposition(ALD) method using metal organic precursor

전형탁

ConferenceIssue Date2003PlaceSan Francisco Marriott & Argnet Hotel
Characteristics of HfO2 Gate dielectric deposited by remote plasma enhanced atomic layer deposition method

전형탁

ConferenceIssue Date2003PlaceSan Francisco Marriott & Argnet Hotel
상용 7xxx계열 알루미늄 혼합분말의 소결 특성 연구

김영도

ConferenceIssue Date2003Place안동대학교
플라즈마 용사코팅 및 화학적 처리를 통하여 표면개질된 티타늄 임플란트에서의 생체거동 및 골결합능력연구

김영도

ConferenceIssue Date2003Place안동대학교
Ti-15-3 합금에서의 열처리에 따른 고온 기계적 특성

김영도

ConferenceIssue Date2003Place안동대학교
Screen 플라즈마 질화처리시 화합물층 성장에 대한 N2O 전처리의 영향

김영도

ConferenceIssue Date2003Place안동대학교
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