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극자외선 노광 공정용 Mo/Si 다층 박막 미러의 구조 분석
안진호
Conference
Issue Date
2001
Place
한양대학교
극자외선 노광 공정용 Mo/Si 반사형 다층 박막의 특성 연구
안진호
Conference
Issue Date
2001
Place
고려대학교
극자외선 노광 공정용 Mo/Si 반사형 다층 박막의 특성 연구
정용재
Conference
Issue Date
2001
Citation
2001년도 한국재료학회 추계학술대회
Publisher
한국재료학회
Place
고려대학교
극자외선 노광공정용 Ru/Mo/Si 반사형 다층박막 미러의 증착에 관한 연구
안진호
Conference
Issue Date
2002
Place
배재대학교
극자외선 노광공정용 마스크 이미징 특성 향상 연구
안진호
Conference
Issue Date
2021
Place
온라인 개최
극자외선 노광공정용 마스크 이미징 특성 향상 연구
안진호
Conference
Issue Date
2021
Place
온라인 개최
극자외선 노광공정용 마스크의 이미징 성능 향상을 위한 회절광 위상 특성 최적화 연구
안진호
Conference
Issue Date
2022
Place
인하대학교 항공우주융합캠퍼스
극자외선 노광공정용 반사 미러의 광학 특성 평가를 위한 복합 모델링
정용재
Conference
Issue Date
2003
Citation
한국세라믹학회 춘계총회 및 연구발표회
Publisher
한국세라믹학회
Place
배재대학교
극자외선 노광공정용 반사미러의 성능 향상을 위한 연구
안진호
Conference
Issue Date
2004
Place
부산전시컨벤션센터
극자외선 노광공정용 펠리클의 주름에 의해 증가한 반사도가 마스크 이미징 성능에 미치는 영향
안진호
Conference
Issue Date
2021
Place
온라인 개최
극자외선 노광공정용 펠리클의 투과도에 따른 이미징 특성 분석
안진호
Conference
Issue Date
2016
Place
서울 코엑스
극자외선 노광기술
안진호
Conference
Issue Date
2015
Place
COEX
극자외선 노광기술 단기강좌
안진호
Conference
Issue Date
2013
Place
제주도 서귀포 KAL호텔
극자외선 노광기술(EUV Lithography)
안진호
Conference
Issue Date
2014
Place
속초 델피노호텔
KCI
극자외선 리소그라피에서의 Sub-resolution assist feature를 이용한 근접효과보정
Go to Link
김정식; 홍성철; 장용주;
안진호
Article
Issue Date
2016
Citation
반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.3, pp.1 - 5
Publisher
한국반도체디스플레이기술학회
극자외선 리소그래피 high-NA용 half-tone 위상변위마스크 구조
안진호
Conference
Issue Date
2014
Place
속초 델피노호텔
극자외선 리소그래피 high-NA용 half-tone 위상변위마스크 구조
안진호
Conference
Issue Date
2016
Place
전북대학교
극자외선 리소그래피용 포톤샷 노이즈 감소를 위한 감쇠형 위상변위 마스크
안진호
Conference
Issue Date
2013
Place
한국
극자외선 위상 변위 마스크를 적용한 SRAF의 공정 마진에 관한 연구
안진호
Conference
Issue Date
2016
Place
삼성 코엑스
극자외선 펠리클용 나노미터 두께의 대면적 탄화 몰리브데넘 박막
안진호
Conference
Issue Date
2023
Place
강원도 하이원리조트
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