ScholarWorks@Hanyang University

Browsing by 김정식Author

All A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
전체 가 나 다 라 마 바 사 아 자 차 카 타 파 하

Showing results 1 to 6 of 6

KCI
EUV pellicle 의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가Go to Link

우동곤; 홍성철; 김정식; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.1, pp 27 - 32Publisher한국반도체디스플레이기술학회
KCI
EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석Go to Link

우동곤; 김정환; 김정식; 홍성철; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.3, pp 35 - 39Publisher한국반도체디스플레이기술학회
KCI
RCS 웜 시뮬레이션을 위한 Hybrid 모델링 방법Go to Link

김정식; 박진호; 조재익; 최경호; 임을규

ArticleIssue Date2007Citation정보보호학회논문지, v.17, no.3, pp 43 - 54Publisher한국정보보호학회
KCI
SRAF를 적용한 극자외선 노광기술용 위상 변위 마스크의 반사도에 따른 이미징 특성 연구Go to Link

장용주; 김정식; 홍성철; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2015Citation반도체디스플레이기술학회지, v.14, no.3, pp 1 - 5Publisher한국반도체디스플레이기술학회
KCI
극자외선 리소그라피에서의 Sub-resolution assist feature를 이용한 근접효과보정Go to Link

김정식; 홍성철; 장용주; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.3, pp 1 - 5Publisher한국반도체디스플레이기술학회
KCI
위상변위 극자외선 마스크의 흡수체 패턴의 기울기에 대한 오차허용도 향상Go to Link

장용주; 김정식; 홍성철; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.2, pp 32 - 37Publisher한국반도체디스플레이기술학회
1
CONTACT US

RSS_1.0 RSS_2.0 ATOM_1.0

222, Wangsimni-ro, Seongdong-gu, Seoul, 04763, Korea+82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 2024 HANYANG UNIVERSITY.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.
You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.

BROWSE

한국어