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On the E to H transition in a dual frequency inductively coupled plasma

ConferenceIssue Date2019CitationThe 72nd Annual Gaseous Electronics ConferencePublisherAmerican Physical SocietyPlaceTexas A&M Hotel

0차원 모델을 이용한 공정장비 Scale up 연구

정진욱

ConferenceIssue Date2012Citation한국진공학회 동계정기 학술대회Publisher한국진공학회Place보광휘닉스파크

Uniformity Control by using helium gas in the large area ferrite side type inductively coupled plasma

정진욱

ConferenceIssue Date2012Citation한국진공학회 동계 정기학술대회 프로그램집Publisher한국진공학회Place보광휘닉스파크

자기장을 인가한 솔레노이드형 유도 결합 플라즈마 장치에서의 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성

정진욱

ConferenceIssue Date2012Citation한국진공학회 동계 정기 학술 대회Publisher한국진공학회Place보광휘닉스 파크

준안정 준위를 포함한 헬륨 플라즈마의 영차원 모사 연구

정진욱

ConferenceIssue Date2012Citation한국진공학회 동계정기학술대회Publisher한국진공학회Place보광휘닉스파크

전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구

정진욱

ConferenceIssue Date2012Citation한국진공학회 동계 정기 학술대회Publisher한국진공학회Place보광휘닉스파크

Real-time measurement of dielectric thickness on a millimeter scale using triple-frequency in inductively coupled plasma

정진욱

ConferenceIssue Date2021Citation74th Annual Gaseous Electronics ConferencePublisherGaseous ElectronicsPlaceVirtual

2D spatial distribution measurement of floating potential in inductively coupled plasma

정진욱

ConferenceIssue Date2019Citation2019년 추계학술대회Publisher한국반도체디스플레이기술학회Place한양대학교 종합기술원

산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈락이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향

정진욱

ConferenceIssue Date2019Citation2019년 추계학술대회Publisher한국반도체디스플레이기술학회Place한양대학교 종합기술원

이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마 소스의 밸런스 축전기 유/무에 따른 특성 비교

정진욱

ConferenceIssue Date2019Citation2019년 추계학술대회Publisher한국반도체디스플레이기술학회Place한양대학교 종합기술원

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