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KCI

EUV pellicle 의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가 Go to Link

우동곤; 홍성철; 김정식; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.1, pp 27 - 32Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석 Go to Link

우동곤; 김정환; 김정식; 홍성철; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.3, pp 35 - 39Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

HF 습식 식각을 이용한 극자외선 노광 기술용 SiNx 펠리클 제작 공정 Go to Link

김지은; 김정환; 홍성철; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2015Citation반도체디스플레이기술학회지, v.14, no.3, pp 7 - 11Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

SRAF를 적용한 극자외선 노광기술용 위상 변위 마스크의 반사도에 따른 이미징 특성 연구 Go to Link

장용주; 김정식; 홍성철; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2015Citation반도체디스플레이기술학회지, v.14, no.3, pp 1 - 5Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

극자외선 리소그라피에서의 Sub-resolution assist feature를 이용한 근접효과보정 Go to Link

김정식; 홍성철; 장용주; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.3, pp 1 - 5Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작 Go to Link

김정환; 홍성철; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.1, pp 17 - 21Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

스핀코터를 이용한 박막의 기계적 안정성 평가 Go to Link

김지은; 김정환; 홍성철; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.1, pp 6 - 11Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

위상변위 극자외선 마스크의 흡수체 패턴의 기울기에 대한 오차허용도 향상 Go to Link

장용주; 김정식; 홍성철; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.2, pp 32 - 37Publisher한국반도체디스플레이기술학회

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