ScholarWorks@Hanyang University: Journal : 반도체디스플레이기술학회지

반도체디스플레이기술학회지

Journal Title

반도체디스플레이기술학회지

ISSN

P 1738-2270

Publisher

한국반도체디스플레이기술학회

Listed on(Coverage)

KCI(Ranking)	2009-2019
KCI	2009-2021
KCI(Candidate)	2006-2008

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- KCI(Ranking);KCI;

Country

SOUTH KOREA

Article List

1 - 13 out of 13 results.

KCI

Interpretation of the asymmetric color and shape of brownish ring in quartz crucible Go to Link

Jung, Yoon Sung; Choi, Jae Ho; Min, Kyung Won; Byun, Young Min; Im, Won Bin; Kim, Hyeong-Jun

ArticleIssue Date2022Citation반도체디스플레이기술학회지, v.21, no.4, pp 50 - 52Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

Al2O3 Free 다성분계 유리의 CF4/O2/Ar 내플라즈마 특성 Go to Link

민경원; 최재호; 정윤성; 임원빈; 김형준

ArticleIssue Date2022Citation반도체디스플레이기술학회지, v.21, no.3, pp 57 - 62Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

Atmospheric Plasma Spray코팅을 이용한 Yttrium계 소재의 내플라즈마성 및 세정 공정에 관한 연구 Go to Link

권혁성; 김민중; 소종호; 신재수; 정진욱; 맹선정; 윤주영

ArticleIssue Date2022Citation반도체디스플레이기술학회지, v.21, no.3, pp 74 - 79Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

MgO-Al2O3-SiO2계 유리의 열물성과 내플라즈마성 연구 Go to Link

윤지섭; 최재호; 정윤성; 민경원; 임원빈; 김형준

ArticleIssue Date2021Citation반도체디스플레이기술학회지, v.20, no.2, pp 61 - 66Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석 Go to Link

우동곤; 김정환; 김정식; 홍성철; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.3, pp 35 - 39Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

극자외선 리소그라피에서의 Sub-resolution assist feature를 이용한 근접효과보정 Go to Link

김정식; 홍성철; 장용주; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.3, pp 1 - 5Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

위상변위 극자외선 마스크의 흡수체 패턴의 기울기에 대한 오차허용도 향상 Go to Link

장용주; 김정식; 홍성철; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.2, pp 32 - 37Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

EUV pellicle 의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가 Go to Link

우동곤; 홍성철; 김정식; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.1, pp 27 - 32Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

스핀코터를 이용한 박막의 기계적 안정성 평가 Go to Link

김지은; 김정환; 홍성철; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.1, pp 6 - 11Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작 Go to Link

김정환; 홍성철; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.1, pp 17 - 21Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

HF 습식 식각을 이용한 극자외선 노광 기술용 SiNx 펠리클 제작 공정 Go to Link

김지은; 김정환; 홍성철; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2015Citation반도체디스플레이기술학회지, v.14, no.3, pp 7 - 11Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

SRAF를 적용한 극자외선 노광기술용 위상 변위 마스크의 반사도에 따른 이미징 특성 연구 Go to Link

장용주; 김정식; 홍성철; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2015Citation반도체디스플레이기술학회지, v.14, no.3, pp 1 - 5Publisher한국반도체디스플레이기술학회

KCI

Refilled mask structure for Minimizing Shadowing Effect on EUV Lithography Go to Link

안진호; 신현덕; 정창영

ArticleIssue Date2010Citation반도체디스플레이기술학회지, v.9, no.4, pp 13 - 18Publisher한국반도체디스플레이기술학회

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